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真空ウェハマウンター NEL SYSTEM™シリーズ

タイシング用テープをウェハ裏面およびフレームに貼り付けるマウンタです。真空下でのマウントが可能です。フルオートタイプおよびセミオートタイプを揃えています。

MA2008IIV

MA2008IIVsemicon_backgrinding_img_icon_ce

200mmウェハ対応フルオートマウンタ（真空貼付け対応）

オペレーションフロー

特長

  • 多彩なオプションの組み合わせで多様なニーズに対応
    • DSC、コインスタック
    • 非接触アーム、非接触テーブル
    • 保護テープはく離機能／UV照射機能
    • 基板マウント
  • 真空マウント／大気圧下のマウント対応
  • TAIKOウェハ対応
  • タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定／選択機能
  • 稼働管理標準装備
  • ウェハマッピングスキャナ搭載可能
  • SECS/GEM機能搭載可能
  • CEマーキング／SEMI S2/S8準拠

基本仕様

  • 適用フレームサイズ：　8インチ／6インチ
  • 適用ウェハサイズ：　8／6／5／4インチ
  • 適用ウェハ厚さ：　TAIKOウェハ：50um以上、ノーマルウェハ200um以上（接触テーブル）、250um以上（非接触テーブル）
  • 処理能力：　TAIKOウェハ：35枚/hr.　　ノーマルウェハ：40枚/hr.
  • ※上記仕様値は、ワーク／テープ／その他条件により影響を受けます。
    オプション機能を含んでいる場合もあります。
    また、上記仕様値外でも条件によっては適用できる可能性がありますので、詳細はお問い合わせください。

MSA840VIII

200mmウェハ対応セミオートマウンタ（真空マウント対応）

オペレーションフロー

特長

  • 200mmウェハ対応セミオートタイプ真空マウンタ
  • 差圧を利用した貼り付けにより、バンプウェハ等の凹凸を有するウェハへボイドなくテープ貼付が可能
  • テーブル加温機能　（設定温度：Max. 120℃）
  • 非接触テーブル選択可能
  • DCT/NCF 2in1 対応

基本仕様

  • 適用フレームサイズ：　8インチ／6インチ
  • 適用ウェハサイズ：　8／6／5／4インチ
  • 適用ウェハ厚さ：　TAIKOウェハ：50um以上、ノーマルウェハ200um以上（接触テーブル）、250um以上（非接触テーブル）
  • 処理能力：
    • 真空マウント：　TAIKOウェハ：約100秒／ウェハ
    • ノーマルウェハ：約90秒／ウェハ
    • 大気圧下でのマウント：　約40秒／ウェハ
  • ※上記仕様値は、ワーク／テープ／その他条件により影響を受けます。
    オプション機能を含んでいる場合もあります。
    また、上記仕様値外でも条件によっては適用できる可能性がありますので、詳細はお問い合わせください。

MSV300

300mmウェハ対応セミオートマウンタ（真空マウント対応）

オペレーションフロー

特長

  • 300mmウェハ対応セミオートタイプ真空マウンタ
  • 差圧を利用した貼り付けにより、バンプウェハ等の凹凸を有するウェハへボイドなくテープ貼付が可能

基本仕様

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