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バックグラインド用半導体製造プロセス用装置 NEL SYSTEM®

バックグラインド用保護テープ貼り付け装置 NEL SYSTEM®シリーズ

バックグラインド用の保護テープをウェハパターン面に貼り付ける、保護テープ貼り付け機です。フルオートタイプおよびセミオートタイプを揃えています。ウェハの大型化にも対応します。

TAIKO®ウェハ用保護テープはく離装置 NEL SYSTEM®シリーズ

バックグラインド用の保護テープをTAIKO®ウェハのパターン面からはく離する、フルオートタイプの保護テープはく離機です。

真空+プレス機構付き保護テープ貼り付け装置 NEL SYSTEM®シリーズ

バックグラインド用の保護テープをウェハパターン面に真空下で貼り付け、平板プレス機構も併せ持つ300mmウェハに対応したフルオートタイプの保護テープ貼り付け機です。

バックグラインド用保護テープはく離装置 NEL SYSTEM®

バックグラインド用の保護テープをウェハパターン面からはく離する、保護テープはく離機です。フルオートタイプおよびセミオートタイプを揃えています。ウェハの大型化にも対応します。

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