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フィルム表面に真空中でナノオーダーの導電性薄膜を均一に形成する技術で、タッチパネル用透明導電フィルムやフレキシブル回路基板などに利用されています。
スパッタ成膜技術
真空中でArガスを導入し電界をかけると、Ar+と電子に分解したプラズマ状態が得られます。Ar+イオンをターゲットに高速で衝突させることでターゲット物質を対向している基板フィルム上へ堆積させる技術です。
ターゲットそのものを成膜させる場合と、O2などのガスと反応させて成膜させる場合があります。後者の代表として、In2O3-SnO2 ターゲットから、O2と反応させて成膜した、ITO透明導電フィルムがあります。
光学フィルム表面に光を拡散反射させたり、干渉させる層を設けることで、外光の映り込みを防止して、ディスプレイを見やすくします。
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防眩処理
ガラスビーズやプラスチックビーズを分散させた樹脂を塗布し、表面ミクロンオーダーの凹凸を形成し、反射光を拡散させます。 |
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反射防止処理
高屈折率材料と低屈折材料を交互に積層し、最表面の反射光と各界面の反射光との位相をずらすことで、反射光を打ち消します。 |
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スパッタエッチング処理
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