Dispositivo di montaggio wafer (tipo completamente automatico) NEL SYSTEM®

Questa apparecchiatura è un dispositivo di montaggio wafer completamente automatico; applica il nastro di spezzettatura sulla parte posteriore del wafer/sul telaio di spezzettatura e rimuove il nastro di protezione dalla superficie a wafer.

Dispositivo di montaggio wafer completamente automatico per wafer da 300 mm

Dimensione telaio applicabile:　300 mm/200 mm
Dimensione wafer applicabile:　300 mm/200 mm
Spessore wafer applicabile:　30 um o più (sistema in linea), 50 um o più (sistema indipendente)
Volume di produzione:　nastro a rullo: 40 wafer/h　　nastro pretagliato: 45 wafer/h

*I valori sopra specificati varieranno in base al wafer/nastro/altre condizioni e, in alcuni casi, è inclusa la funzione opzionale.
Qualora le condizioni siano appropriate, si potrebbero applicare dei wafer che non rientrano nelle specifiche sopra indicate. Vi preghiamo di contattarci.

Dispositivo di montaggio wafer completamente automatico per wafer da 200 mm

È possibile combinare varie applicazioni:
DSC, impilaggio dischi
- Braccio senza contatto, tavola senza contatto
- Rimozione del nastro di protezione / irradiazione UV
- Montaggio pannello
MA2008IIR: per nastro a rullo
MA2008IIP: per nastro pretagliato
Facile funzionamento tramite pannello tattile e funzione "Recipe"
Apparecchiatura standard con funzione file di registro
Possibilità di aggiungere lo scanner per mappatura wafer
Possibilità di aggiungere SECS/GEM
Conforme al marchio CE / SEMI S2/S8"

Dimensione telaio applicabile：　8 pollici/6 pollici
Dimensione wafer applicabile:　8/6/5/4 pollici
Spessore wafer applicabile:　200 um o più (tavola con contatto), 250 um o più (tavola senza contatto)
Volume di produzione:　MA2008IIR: 75 wafer/h MA2008IIP: 70 wafer/h

*I valori sopra specificati varieranno in base al wafer/nastro/altre condizioni e, in alcuni casi, è inclusa la funzione opzionale.
Qualora le condizioni siano appropriate, si potrebbero applicare dei wafer che non rientrano nelle specifiche sopra indicate. Vi preghiamo di contattarci.