MR3000III
“300mm 웨이퍼용 전자동 웨이퍼 재장착기(MR3000III)”
작업 흐름
특징
- 다이싱 테이프 교체
- 얇은 웨이퍼 사용가능
- 표준 웨이퍼 장착기로 사용 가능
- 플립 기능을 가진 웨이퍼 이송 로봇
- 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
- 로그 파일 기능 표준 장비
- 추가 웨이퍼 매핑 스캐너 사용가능(표준 웨이퍼 장착기용)
- SECS/GEM 추가 가능
- CE 마크/SEMI S2/S8 준수
기본 사양
- 적용 가능한 프레임 크기: 300mm
- 적용 가능한 웨이퍼 크기: 300mm
- 적용 가능한 웨이퍼 두께: 100um 이상
- 처리량: 프레임 제거 장치: 대략 30개 웨이퍼/시간 MA3000III: 롤 테이프: 40웨이퍼/시간 프리컷 테이프: 45웨이퍼/시간
