MSA300II
300mm 웨이퍼용 반자동 웨이퍼 장착기(롤 테이프)
작업 흐름
특징
- 300mm 웨이퍼 사용 가능
- 롤 테이프 전용
- 테이블 온열 기능:
- 터치 패널로 간편한 조작
- CE 마크/SEMI S2/S8 준수
기본 사양
- 적용 가능한 프레임 크기: 300mm/200mm
- 적용 가능한 웨이퍼 크기: 300mm/200mm
- 적용 가능한 웨이퍼 두께: 300mm 웨이퍼: 200um 이상(접촉식 테이블), 250um 이상(비접촉식 테이블) 200mm 웨이퍼: 200um 이상(접촉식 테이블), 250um 이상(비접촉식 테이블)
- 처리량: 대략 40초/웨이퍼
MSA300PII
300mm 웨이퍼용 반자동 웨이퍼 장착기(프리컷 테이프)
작업 흐름
특징
- 반자동 300mm 웨이퍼 장착기
- 프리컷 테이프 전용
- DAF 사용 가능
- 테이블 온열 기능
- 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
- CE 마크/SEMI S2/S8 준수
기본 사양
- 적용 가능한 프레임 크기: 300mm/200mm
- 적용 가능한 웨이퍼 크기: 300mm/200mm
- 적용 가능한 웨이퍼 두께:
- 처리량: 대략 45초/웨이퍼
MSA840II
200mm 웨이퍼용 반자동 웨이퍼 장착기(롤 테이프)
작업 흐름
특징
- 반자동형 200mm 웨이퍼 장착기
- 롤 테이프 전용
- 테이블 온열 기능
- 터치 패널로 간편한 조작
- CE 마크/SEMI S2/S8 준수
기본 사양
- 적용 가능한 프레임 크기: 8 인치/6 인치
- 적용 가능한 웨이퍼 크기: 8 인치/6 인치/5 인치/4 인치
- 적용 가능한 웨이퍼 두께: 200um 이상(접촉식 테이블), 250um 이상(비접촉식 테이블)
- 처리량: 대략 40초/웨이퍼
MSA840P
200mm 웨이퍼용 반자동 웨이퍼 장착기(프리컷 테이프)
작업 흐름
특징
- 반자동형 200mm 웨이퍼 장착기
- 프리컷 테이프 전용
- DAF 사용 가능
- 테이블 온열 기능
- 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
- CE 마크/SEMI S2/S8 준수
기본 사양
- 적용 가능한 프레임 크기: 8 인치/6 인치
- 적용 가능한 웨이퍼 크기: 8 in/6 in
- 적용 가능한 웨이퍼 두께: 200um 이상
- 처리량: 대략 45초/웨이퍼
M286N
M286N: 8" 웨이퍼용 반자동 웨이퍼 장착기
작업 흐름
특징
- 반자동 웨이퍼 장착기
- 테이프 자동 부착, 테이프 수동 절단
- 정전기 제거기 추가(옵션)
- 패널 장착 사용 가능(옵션)
기본 사양
- 적용 가능한 프레임 크기: 8 인치/6 인치
- 적용 가능한 웨이퍼 크기: 8 인치/6 인치/5 인치/4 인치
- 적용 가능한 웨이퍼 두께: 200um(접촉식 테이블), 250um(비접촉식 테이블)
- 처리량: 대략 30초/웨이퍼
