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NEL SYSTEM™ for Dicing

다이싱 공정용 UV 조사기 NEL 시스템® 시리즈

접착력을 감소시키기 위해 웨이퍼 이면의 다이싱 테이프에 UV 광선을 조사하는 장비입니다. 전자동 & 반자동 기계 제품군이 구비되어 있고, 대형 웨이퍼도 사용할 수 있습니다.

웨이퍼 장착기(전자동형) NEL 시스템®

전자동형 웨이퍼 장착기로 웨이퍼 이면/다이싱 프레임에 다이싱 테이프를 부착하고 웨이퍼 패턴 표면에서 보호 테이프를 제거하는 장비입니다.

웨이퍼 장착기(반자동형) NEL 시스템®

반자동형 웨이퍼 장착기로, 웨이퍼 이면/다이싱 프레임에 다이싱 테이프를 부착하는 장비입니다.

진공 웨이퍼 장착기 NEL 시스템® 시리즈

진공 상태에서의 웨이퍼 장착기입니다. 전자동 & 반자동 기계 제품군이 구비되어 있고, 대형 웨이퍼도 사용할 수 있습니다.

웨이퍼 재장착기(MA3000III + 프레임 제거 장치) NEL 시스템® 시리즈

300mm 웨이퍼용 전자동 웨이퍼 재장착기로, 먼저 지지 테이프를 이용해 웨이퍼 마운트 프레임에서 프레임을 제거한 다음, 다이싱 테이프로 새 프레임에 웨이퍼를 장착하고, 마지막으로 웨이퍼에서 지지 테이프를 제거합니다.

연락처

영업시간 (한국시간) 09:00-17:00(토∙일 공휴일 제외)

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