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[補足]
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2003年2月3日
本賞は毎年1回、その年度に発表された新製品・サービスの中から、特に優れた新製品・サービスを表彰するもの。2002年度は約2万点の中から優秀賞30点が選ばれた。
クリーニングウエハは、半導体ウエハの形をしたパーティクル(ミクロのゴミ)除去材料であり、シリコンダミーウエハの片面に特殊樹脂を貼り付けたものである。
半導体製造装置内のパーティクル除去は大変な作業である。機械を止めて、中を開き、手作業で発塵の少ない特殊な布でアルコール拭きするというものである。手間がかかり、生産効率を低下させる原因となる。だからといって、清掃を怠ると、製品歩留まりが悪くなる。現場泣かせの大変な作業である。
クリーニングウエハの特徴は、稼働中の装置を止めることも、中を開けることもなく、ウエハ搬送機構やチャックテーブル上に付いているパーティクルを人手を介さないで捕集できることと、装置に対して半導体レベルでの汚染物をほとんどつけないということである。
この特徴を発揮するために弾性率を制御して特別に開発した特殊樹脂は、触っても粘着感がまったくない。ゴミを取るということから、ほとんどのお客様は粘着テープの糊をイメージされているため、初めて触ると一様に驚かれる。これは、少しでも粘着感があると、磨き込まれた搬送アームや、チャックテーブルにくっついて外れないためと、くっつかない場合であっても、汚染物をつけてしまうためである。
クリーニングウエハの先進性は、世界で初めてのウエハ状クリーニング材というだけでなく、日東電工のテープ関連商品では初めて循環型のビジネスシステムを採用したことである。お客様で使い終わったクリーニングウエハを回収し、ダミーウエハとシートに分離し、ダミーウエハは洗浄後に再使用する。
これらのクリーニングウエハの機能性、簡便性、そして先進性が認められ、この受賞となった。
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