従来のウエハ保護テープ貼付装置の技術に、真空・平板プレスの技術を導入し、大きな凹凸や段差・バンプがある半導体ウエハに対して、気泡なく、平滑・平坦にテープを貼り付けることができる真空+プレス機構付きテープ貼付装置です。
300mmウェハ対応フルオート保護テープ貼り付け機(真空貼り付け&プレス機能付)
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