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半導体製造プロセス用装置 NEL SYSTEM®

バックグラインド・ダイシング工程における半導体ウエハの保護・固定用テープの貼り合わせ装置です。 半導体ウエハの薄型化・大口径化に対応、ウエハ加工時の作業性向上にも貢献します。

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