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加熱剥離型粘着シート

登録・特許番号

Patent No.5921927

課題

本発明の目的は、加熱処理後に基材の収縮による被着体の反りを防止すると共に、加熱剥離時には良好な剥離性を有する加熱剥離型粘着シート、該粘着シートを用いた電子部品や半導体の製造方法を提供することにある。

筆頭請求項

熱膨張性微小球を含有する熱膨張性粘着層と、該熱膨張性粘着層とは異なる粘着層を積層した基材レス両面粘着シートであって、粘着層がエネルギー線硬化型粘着剤からなり、熱膨張性粘着層よりも高い弾性率を有することを特徴とする加熱剥離型粘着シート。

発明の効果

本発明によれば、熱膨張性微小球を含有する熱膨張性粘着層と、該熱膨張性粘着層よりも弾性率の高い粘着層を積層した基材レス粘着シートを用いることで、加熱工程後も被着体に反りを生じず、また、加熱剥離時の発泡応力の方向をコントロールすることで加熱剥 離性の低下を防止することが出来る。