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エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート、及びこれを用いた切断片の製造方法

登録・特許番号

Patent No.4651799

課題

本発明の目的は、被着体貼り合わせ後或いは被着体の切断などの加工工程後の輸送等の搬送工程に耐え得る粘着性を有すると共に、切断工程時において粘着剤の巻き上げやチッピングを起こすことがなく、且つ切断後の切断片の剥離回収を容易に行うことができるエネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート、及び該粘着シートを利用した切断片の製造方法を提供することにある。

筆頭請求項

基材の少なくとも片側に、エネルギー線硬化型粘弾性層と熱膨張性微小球を含有する熱膨張性粘着層とがこの順に積層されているエネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート。

発明の効果

本発明によれば、被着体の輸送などの搬送工程に耐え得る粘着性を有すると共に、切断工程時における粘着剤の巻き上げやチッピングを抑制でき、且つ切断後には、高度な精度で切断加工された切断片を容易に剥離回収することができる。そのため、切断片の剥離、回収工程における操作性及び作業性を著しく高めることができ、ひいては、小型の或いは薄層の半導体チップや積層コンデンサチップなどの切断片の生産性を大きく向上できる。