跳至主要文字

用於切割製程的 UV 放射器 NEL SYSTEM® Series

本設備會將 UV 光線照射到晶圓背面的裁切膠帶上,以降低黏著力。 全自動型 & 半自動型機器產品線,並供應大尺寸晶圓。

聯絡方式

上班時間 (台灣時間) 8:30-17:30

(星期六、星期日與例假日除外)

UA3000IIsemicon_backgrinding_img_icon_ce

300mm 晶圓全自動 UV 照射器

操作流程

特點

  • 供應 8 吋 / 6 吋 框
  • 自動計算 UV 照射時間
  • 照射區域擴張(至框區)
  • N2 淨化
  • UV 照射後核准標記
  • 可使用透過觸控面板 & 的功能,操作簡單
  • 日誌記錄功能標準設備
  • 遵照 CE 標章 / SEMI S2/S8" 的相關規定

基本規格

 
  • 可用框尺寸:300mm/200mm
  • 可用晶圓尺寸:300mm/200mm
  • 產能:60 晶圓 / 小時
  • * 上述規格值將受晶圓 / 膠帶 / 其他條件所影響,且在若干情況下包含選擇性功能。
    在條件適合的狀況下,上述晶圓規格適用。 請與我們聯繫。

UA8400semicon_backgrinding_img_icon_ce

200mm 晶圓全自動 UV 照射器

操作流程

特點

  • 供應 8 吋/6 吋 框
  • 自動計算 UV 照射時間
  • 照射區域擴張(至框區)
  • N2 淨化
  • UV 照射後核准標記
  • 可使用透過觸控面板 & 的配方功能,操作簡單
  • 日誌記錄功能標準設備
  • 遵照 CE 標章 / SEMI S2/S8 的相關規定

基本規格

  • 可用框尺寸:8 吋 / 6 吋
  • 可用晶圓尺寸:8/6/5/4 吋
  • 產能:TAIKO 晶圓:100 晶圓 / 小時
  • * 上述規格值將受晶圓 / 膠帶 / 其他條件所影響,且在若干情況下包含選擇性功能。
    在條件適合的狀況下,上述晶圓規格適用。 請與我們聯繫。

UM810/UM110

UM810:8 吋晶圓半自動 UV 照射器
UM110:6 吋晶圓半自動 UV 照射器

操作流程

特點

  • 配備 VU 照射計時器(設定範圍: 0 - 999 秒)
  • N2 淨化功能
  • UV 照明光度計(選擇性)
  • 照射區域擴張(至框區)(選擇性)

基本規格

  • 可用框尺寸:UM810:8 吋 / 6 吋 UM110:6 吋
  • 可用晶圓尺寸:UM810:8/6/5/4 吋 UM110:6/5/4 吋
  • * 上述規格值將受晶圓 / 膠帶 / 其他條件所影響,且在若干情況下包含選擇性功能。
    在條件適合的狀況下,上述晶圓規格適用。 請與我們聯繫。

聯絡方式

上班時間 (台灣時間) 8:30-17:30 (星期六、星期日與例假日除外)

回到頁首