跳至主要文字

抗熱性研磨膠帶(開發中)

具有抗熱性的背面研磨膠帶用於晶圓研磨後的特殊加熱處理。

抗熱性研磨膠帶可對應晶圓背面的二次處理。 背面研磨處理後,貼著抗熱性背面研磨膠帶的晶圓便可進行加工(濕法刻蝕、灰化、金屬化、曝光 / 加工等)。
聯絡方式

上班時間 (台灣時間) 8:30-17:30

(星期六、星期日與例假日除外)

特點

  • 優異的 TTV(總厚度變化)性能
  • 在晶背處理過程中具有高耐熱性。
  • 經過數種研磨處理後.易於從磨光晶圓上剝離。

架構

用途

  • 電力元件、分離式元件等的晶背濕法刻蝕或金屬化處理。
  • 晶背的複雜加工,如:IGBT 等。
  • 需要特定熱量的其他半導體加工。

聯絡方式

上班時間 (台灣時間) 8:30-17:30 (星期六、星期日與例假日除外)

回到頁首