Ana metne git

Sırt taşlama Prosesi için Koruma Bandı Uygulayıcı NEL SYSTEM® Serisi

Bu bantlama sistemi, sırt taşlaması esnasında yarı-iletken yonga plakasının yüzeyi üzerine koruyucu bant uygulanmasını otomatikleştirir.

İrtibat için

Çalışma saatleri (Türkiye saati ile) 8:00-17:30

Cumartesi, Pazar ve Tatil Günleri Hariç

DR3000Ⅲsemicon_backgrinding_img_icon_ce

12 inç’e kadar olan yonga plakalarına Bant Uygulayıcı (Aplikatör)

< Özellikler >

  • FOUP/ Açık kaset uygulanabilir
  • Düşük gerginlikte bant uygulama sistemi
  • Ayarlanabilir bant uygulama basıncı
  • Yonga plakası (wafer) yüzeyinin basınç sıcaklık dağılımı
  • Kolay kullanımlı dokunma paneli
  • Reçete kontrollü kolay kullanımlı parametre ayarı
  • Yonga plakası yüklemesi öncesi bant sarkması algılama fonksiyonu
  • Torna aynası ısıtma (Maks. 100℃) fonksiyonu
  • SEMI S2/S8 emniyet mevzuatına uygundur
  • Yonga plakası haritalama tarayıcısı (isteğe bağlı)
  • SECS/GEM haberleşmesi fonksiyonu (isteğe bağlı)

DR8500Ⅲ/DR8500ⅢRFsemicon_backgrinding_img_icon_ce

8 inç’e kadar olan yonga plakalarına Bant Uygulayıcı (Aplikatör)

< Özellikler >

  • Kolay kullanımlı dokunmalı panel
  • Tarife kontrollü kolay kullanımlı parametre ayarı
  • Sarf malzemelerinin / parçalarının değiştirilmesi kolaydır
  • SEMI S2/S8 emniyet mevzuatına uygundur
  • SECS/GEM haberleşmesi fonksiyonu (isteğe bağlı)
  • Düşük gerginlikte bant uygulama sistemi*

[Açıklamalar]

  • * Sadece DR8500-III-RF

DSA840

8 inç’e kadar olan yonga plakalarına yarı-otomatik Bant Uygulayıcı (Aplikatör)

< Özellikler >

  • Yonga plakası ayarı manüel olarak yapılır.
  • Bant uygulaması, kesme ve atık bantın çıkartılması otomatik olarak yapılır.
  • Elektrostatik ayırıcı (isteğe bağlı)

İrtibat için

Çalışma saatleri (Türkiye saati ile) 8:00-17:30 (Cumartesi, Pazar ve Tatil Günleri Hariç)

Üst Sayfaya Dön