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웨이퍼 재장착기(MA3000III + 프레임 제거 장치) NEL SYSTEM® series

300mm 웨이퍼용 전자동 웨이퍼 재장착기로, 먼저 지지 테이프를 이용해 웨이퍼 장착 프레임에서 프레임을 제거한 다음, 다이싱 테이프로 새 프레임에 웨이퍼를 장착하고, 마지막으로 웨이퍼에서 지지 테이프를 제거합니다.

연락처

영업시간 (한국시간) 09:00-17:00

토∙일 공휴일 제외

웨이퍼 재장착기semicon_backgrinding_img_icon_ce

"300mm 웨이퍼용 전자동 웨이퍼 재장착기(MA3000III + 프레임 제거 장치)"

작업 흐름

특징

  • 범프 웨이퍼 사용가능
  • 얇은 웨이퍼 사용가능
  • 표준 웨이퍼 장착기로 사용 가능
  • 플립 기능을 가진 웨이퍼 이송 로봇
  • 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
  • 로그 파일 기능 표준 장비
  • 추가 웨이퍼 매핑 스캐너 사용가능(표준 웨이퍼 장착기용)
  • SECS/GEM 추가 가능
  • CE 마크/SEMI S2/S8 준수

기본 사양

  • 적용 가능한 프레임 크기 : 300mm
  • 적용 가능한 웨이퍼 크기: 300mm
  • 적용 가능한 웨이퍼 두께: 100um 이상
  • 처리량: 프레임 제거 장치:대략 30개 웨이퍼/시간 MA3000III: 롤 테이프: 40장 웨이퍼/시간   프리컷 테이프: 45개 웨이퍼/시간
  • *위 사양 값은 웨이퍼/테이프/기타 조건의 영향을 받으며, 몇몇 경우에 옵션 기능이 포함되기도 합니다.
    조건이 적절한 경우, 위 사양 이외의 웨이퍼에 적용할 수도 있습니다. 자세한 내용은 회사로 문의하십시오.

연락처

영업시간 (한국시간) 09:00-17:00(토∙일 공휴일 제외)

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