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웨이퍼 장착기(전자동형) NEL SYSTEM®

전자동형 웨이퍼 장착기로 웨이퍼 이면/다이싱 프레임에 다이싱 테이프를 부착하고 웨이퍼 패턴 표면에서 보호 테이프를 제거하는 장비입니다.

연락처

영업시간 (한국시간) 09:00-17:00

토∙일 공휴일 제외

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300mm 웨이퍼용 전자동 웨이퍼 장착기

작업 흐름

특징

  • FOUP/오픈 카세트 사용 가능
  • 얇은 웨이퍼 사용가능
  • 인라인 시스템 사용 가능(옵션)
  • 적은 점유공간(업계 최소 크기)
  • 보호 테이프 박리 성능 개선
  • 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
  • 로그 파일 기능 표준 장비
  • 웨이퍼 스캐너 매핑 추가 가능
  • SECS/GEM 추가 가능
  • CE 마크/SEMI S2/S8 준수

기본 사양

  • 적용 가능한 프레임 크기: 300mm/200mm
  • 적용 가능한 웨이퍼 크기: 300mm/200mm
  • 적용 가능한 웨이퍼 두께: 30um 이상(인라인 시스템),  50um 이상(독립실행형)
  • 처리량: 롤 테이프: 40장 웨이퍼/시간  프리컷 테이프: 45개 웨이퍼/시간
  • *위 사양 값은 웨이퍼/테이프/기타 조건의 영향을 받으며, 몇몇 경우에 옵션 기능이 포함되기도 합니다.
    조건이 적절한 경우, 위 사양 이외의 웨이퍼에 적용할 수도 있습니다. 자세한 내용은 회사로 문의하십시오.

MA2008IIR/ MA2008IIPsemicon_backgrinding_img_icon_ce

200mm 웨이퍼용 전자동 웨이퍼 장착기

작업 흐름

특징

  • 다양한 적용에 조합하여 사용가능:
  • DSC, 코인 스택
    • 비접촉식 암, 비접촉식 테이블
    • 보호 테이프 박리 / UV 조사
    • 패널 장착
  • MA2008IIR:  롤 테이프용
  • MA2008IIP:  프리컷 테이프용
  • 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
  • 로그 파일 기능 표준 장비
  • 웨이퍼 스캐너 매핑 추가 가능
  • SECS/GEM 추가 가능
  • CE 마크/SEMI S2/S8" 준수

기본 사양

  • 적용 가능한 프레임 크기: 8 인치/6 인치
  • 적용 가능한 웨이퍼 크기: 8/6/5/4 인치
  • 적용 가능한 웨이퍼 두께: 200um 이상(접촉식 테이블)、250um 이상(비접촉식 테이블)
  • 처리량: MA2008IIR:75개 웨이퍼/시간 MA2008IIP:70개 웨이퍼/시간
  • *위 사양 값은 웨이퍼/테이프/기타 조건의 영향을 받으며, 몇몇 경우에 옵션 기능이 포함되기도 합니다.
  • 조건이 적절한 경우, 위 사양 이외의 웨이퍼에 적용할 수도 있습니다. 자세한 내용은 회사로 문의하십시오.

연락처

영업시간 (한국시간) 09:00-17:00(토∙일 공휴일 제외)

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