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보호 테이프 접착기(진공 + 압착 기능 사용) NEL SYSTEM® series

이 장비는 전자동식 테이프 접착기로, 진공 상태에서 300mm 웨이퍼 패턴 표면에 보호 테이프(백그라인딩 공정용)를 부착합니다. 기계식 압착 기능도 갖추고 있습니다.

범프 또는 요철이 있는 웨이퍼용, 진공 장착 기능 & 기계적 압착 기능을 사용하여 테이프 적용 성능을 크게 향상시킬 수 있습니다.
연락처

영업시간 (한국시간) 09:00-17:00

토∙일 공휴일 제외

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300mm 웨이퍼용 전자동 보호 테이프 접착기(진공 처리 + 압착 기능)

작업 흐름

특징

  • FOUP/오픈 카세트 사용 가능
  • 차등 압력 적용/평판 압착을 통해 공극 없이(Void-free) 웨이퍼 범프에 부착할 수 있습니다.
  • 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
  • 로그 파일 기능 표준 장비
  • CE 마크/SEMI S2/S8 준수
  • 웨이퍼 스캐너 매핑 추가 가능
  • SECS/GEM 추가 가능

기본 사양

  • 적용 가능한 프레임 크기 : 300mm
  • 적용 가능한 웨이퍼 크기: 300mm
  • 적용 가능한 웨이퍼 두께: 775um
  • 처리량: 45장 웨이퍼/시간
  • *위 사양 값은 웨이퍼/테이프/기타 조건의 영향을 받으며, 몇몇 경우에 옵션 기능이 포함되기도 합니다.
    조건이 적절한 경우, 위 사양 이외의 웨이퍼에 적용할 수도 있습니다. 자세한 내용은 회사로 문의하십시오.

연락처

영업시간 (한국시간) 09:00-17:00(토∙일 공휴일 제외)

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