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백그라인딩 공정용 보호 테이프 접착기 NEL SYSTEM® Series

백그라인딩 공정을 위해 웨이퍼 패턴 표면에 보호 테이프를 부착하는 기기입니다. 전자동 & 반자동 기계 제품군이 구비되어 있고, 대형 웨이퍼도 사용할 수 있습니다.

연락처

영업시간 (한국시간) 09:00-17:00

토∙일 공휴일 제외

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300mm 웨이퍼용 전자동 보호 테이프 접착기

작업 흐름

특징

  • FOUP/오픈 카세트 사용 가능
  • 낮은 부착 장력/부착 장력 조절 기능
  • 터치 패널 & 레시피 기능에 의한 간단 조작
  • 로그 파일 기능 표준 장비
  • 테이프 늘어짐 감지 기능
  • CE 마크 & SEMI S2/S8 준수
  • 웨이퍼 스캐너 매핑 추가 가능
  • SECS/GEM 추가 가능

기본 사양

  • 적용 가능한 웨이퍼 크기: 300mm/200mm
  • 적용 가능한 웨이퍼 두께: 400um 이상
  • 처리량: 68장 웨이퍼/시간
  • ※위 사양 값은 웨이퍼/테이프/기타 조건의 영향을 받으며, 몇몇 경우에 옵션 기능이 포함되기도 합니다.
    조건이 적절한 경우, 위 사양 이외의 웨이퍼에 적용할 수도 있습니다. 자세한 내용은 회사로 문의하십시오.

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200mm 웨이퍼용 전자동 보호 테이프 접착기

작업 흐름

특징

  • 8""/6""/5"" 웨이퍼 사용가능
    4"" 웨이퍼 취급 기능(옵션)
  • 낮은 부착 장력(RF 버전)
  • 추가 테이블/롤러 온열 기능 지원
  • 터치 패널로 간편한 조작
  • CE 마크 준수
  • SECS/GEM 추가 가능

기본 사양

  • 적용 가능한 웨이퍼 크기: 8/6/5/4 in
  • 적용 가능한 웨이퍼 두께: 비 백그라인딩 웨이퍼
  • 처리량: 77개 웨이퍼/시간 (RF 버전:68wafers/hr.)
 
  • ※위 사양 값은 웨이퍼/테이프/기타 조건의 영향을 받으며, 몇몇 경우에 옵션 기능이 포함되기도 합니다.
    조건이 적절한 경우, 위 사양 이외의 웨이퍼에 적용할 수도 있습니다. 자세한 내용은 회사로 문의하십시오.

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200mm 웨이퍼용 반자동 보호 테이프 접착기

작업 흐름

특징

  • 8"/6"/5"/4" 웨이퍼 사용가능
  • 테이블 1개에서 8"- 4" 웨이퍼 취급 가능
  • 터치 패널로 간편한 조작
  • CE 마크/SEMI S2/S8 준수

기본 사양

  • 적용 가능한 웨이퍼 크기: 8/6/5/4 in
  • 적용 가능한 웨이퍼 두께: 비 백그라인딩 웨이퍼
  • 처리량: 대략 50초/웨이퍼
 
  • * 위 사양 값은 웨이퍼/테이프/기타 조건의 영향을 받으며, 몇몇 경우에 옵션 기능이 포함되기도 합니다.
    조건이 적절한 경우, 위 사양 이외의 웨이퍼에 적용할 수도 있습니다. 자세한 내용은 회사로 문의하십시오.

연락처

영업시간 (한국시간) 09:00-17:00(토∙일 공휴일 제외)

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