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ヤモリテープのナノインデンターへの適用

ナノインデンターは大気圧で圧子の押し込み荷重と深さを連続的に高精度で測定し、押し込み深さと荷重の曲線から硬度・ヤング率など機械的特性評価を行うことができます。

しかしながら、試料が薄膜の場合、固定部材の影響を受け、試料の位置ズレ(ドリフト)が起こり、試料表面が正確に測定できない可能性があります。また固定部材が溶剤など揮発性成分を含んでいた場合、試料表面を汚染し正確な測定ができない可能性があります。このような場合、通常、分析データの校正などが行われます。

 ヤモリテープは、位置ずれ(ドリフト)、アウトガスによる試料汚染、試料の帯電を防ぎ、校正の不要な分析結果を提供できます。また高温範囲(~250℃)での分析により試料の温度依存性を知ることができます。

対象者

薄膜、粘弾性体を評価したい方。
異なる温度環境で評価したい方。
できるだけ汚染のないクリーンな状態で評価したい方。

ヤモリテープのメリット

分析事例

ここでは、高温でのナノインデンター測定における各種固定部材の影響を調べた事例を紹介します。高温測定においては、試料を固定するための部材の熱安定性が非常に重要です。固定部材としては、両面テープ、接着剤、ヤモリテープの3種類を、測定対象としては溶融石英を用いました。

室温と加熱時の荷重-変位曲線 (左)固定部材:ヤモリテープ (右)固定部材:接着剤

室温と加熱時の荷重-変位曲線 (左)固定部材:ヤモリテープ (右)固定部材:接着剤



各固定部材で固定した試料(Siウエハ)のAFM測定におけるドリフト量

各固定部材で固定した試料(Siウエハ)のAFM測定におけるドリフト量

両面テープを使用したときには、100℃以上ではテープが変形し測定できませんでした。また、接着剤を使用したときには、100℃では5nm、200℃では6.5nmドリフトしており、測定値に精度の低下が見られました。
一方、ヤモリテープではドリフトは0.5nmにとどまり測定精度は良好でした。以上より、ヤモリテープは高温で耐ドリフト性があり試料を安定に固定できるため、信頼性の高いデータが得られることがわかります。

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