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ウエハリマウンター(MA3000Ⅲ+フレーム除去ユニット) NEL SYSTEM®シリーズ

ウェハ・マウント・フレームからフレームを除去後、新たなフレームにダイシングテープでウェハを再びマウントする、300mmウェハ対応フルオートタイプのリマウンタです。リマウント後、ウェハパターン面のサポートテープはく離機能も有します。

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ウェハリマウンタsemicon_backgrinding_img_icon_ce

300mmウェハ対応フルオートリマウンタ (MA3000III + フレーム除去ユニット)

オペレーションフロー

特長

  • バンプ等凹凸を有するウェハ対応
  • 薄ウェハ対応
  • ノーマルのマウンタとしても使用可能
  • 反転機能付きロボット搭載
  • タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定/選択機能
  • 稼働管理標準装備
  • ウェハマッピングスキャナ搭載可能(ノーマルマウンタのみ)
  • SECS/GEM機能搭載可能
  • CEマーキング/SEMI S2/S8準拠

基本仕様

  • 適用フレームサイズ: 300mm
  • 適用ウェハサイズ: 300mm
  • 適用ウェハ厚さ: 100um以上
  • 処理能力: フレーム分離ユニット:約30枚/hr.  MA3000III本体側 ロールテープ:40枚/hr. プリカットテープ:45枚/hr.
  • ※上記仕様値は、ワーク/テープ/その他条件により影響を受けます。
    オプション機能を含んでいる場合もあります。
    また、上記仕様値外でも条件によっては適用できる可能性がありますので、詳細はお問い合わせください。

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