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ウェハマウンター NEL SYSTEM® (セミオートタイプ)

タイシング用テープをウェハ裏面およびフレームに貼り付けるセミオートタイプのマウンタです。

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300mmウェハ対応セミオートマウンタ(ロールテープ用)

オペレーションフロー

特長

  • 300mmウェハ対応セミオートタイプマウンタ
  • ロールテープ専用機
  • テーブル加温機能
  • タッチパネルによる簡易操作
  • CEマーキング、SEMI S2/S8準拠

基本仕様

  • 適用フレームサイズ: 300mm/200mm
  • 適用ウェハサイズ: 300mm/200mm
  • 適用ウェハ厚さ:
    • 300mmウェハ: 200um以上(接触テーブル)、250um以上(非接触テーブル)
    • 200mmウェハ: 200um以上(接触テーブル)、250um以上(非接触テーブル)
  • 処理能力: 約40秒/ウェハ
  • ※上記仕様値は、ワーク/テープ/その他条件により影響を受けます。
    オプション機能を含んでいる場合もあります。
    また、上記仕様値外でも条件によっては適用できる可能性がありますので、詳細はお問い合わせください。

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300mmウェハ対応セミオートマウンタ(プリカットテープ用)

オペレーションフロー

特長

  • 300mmウェハ対応セミオートタイプマウンタ
  • プリカットテープ専用機
  • DAF対応
  • テーブル加温機能
  • タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定/選択機能
  • CEマーキング、SEMI S2/S8準拠

基本仕様

  • 適用フレームサイズ: 300mm/200mm
  • 適用ウェハサイズ: 300mm/200mm
  • 適用ウェハ厚さ:
    • 300mmウェハ: 200um以上(接触テーブル)、250um以上(非接触テーブル) 
    • 200mmウェハ: 200um以上(接触テーブル)、250um以上(非接触テーブル)
  • 処理能力: 約45秒/ウェハ
  • ※上記仕様値は、ワーク/テープ/その他条件により影響を受けます。
    オプション機能を含んでいる場合もあります。
    また、上記仕様値外でも条件によっては適用できる可能性がありますので、詳細はお問い合わせください。

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200mmウェハ対応セミオートマウンタ(ロールテープ用)

オペレーションフロー

特長

  • 200mmウェハ対応セミオートタイプマウンタ
  • ロールテープ専用機
  • テーブル加温機能
  • タッチパネルによる簡易操作
  • CEマーキング、SEMI S2/S8準拠

基本仕様

  • 適用フレームサイズ: 8インチ/6インチ
  • 適用ウェハサイズ: 8/6/5/4インチ
  • 適用ウェハ厚さ: 200um以上(接触テーブル)、250um以上(非接触テーブル)
  • 処理能力: 約40秒/ウェハ
  • ※上記仕様値は、ワーク/テープ/その他条件により影響を受けます。
     オプション機能を含んでいる場合もあります。
     また、上記仕様値外でも条件によっては適用できる可能性がありますので、詳細はお問い合わせください。

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200mmウェハ対応セミオートマウンタ(プリカットテープ用)

オペレーションフロー

特長

  • 200mmウェハ対応セミオートタイプマウンタ
  • プリカットテープ専用機
  • DAF対応
  • テーブル加温機能
  • タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定/選択機能
  • CEマーキング、SEMI S2/S8準拠

基本設計

  • 適用フレームサイズ: 8インチ/6インチ
  • 適用ウェハサイズ: 8/6インチ
  • 適用ウェハ厚さ: 200um以上(接触テーブル)、250um以上(非接触テーブル)
  • 処理能力: 約45秒/ウェハ
  • ※上記仕様値は、ワーク/テープ/その他条件により影響を受けます。
    オプション機能を含んでいる場合もあります。
    また、上記仕様値外でも条件によっては適用できる可能性がありますので、詳細はお問い合わせください。

M286N/ M265N

M286N:8"ウェハ対応セミオートマウンタ
M2656N:6"ウェハ対応セミオートマウンタ

オペレーションフロー

特長

  • M286N: 8"& 6" フレーム対応
  • M265N: 6"フレーム対応
  • 除電ファン追加可能(オプション)
  • 基板マウント対応可能(専用テーブル必要)

基本設計

  • 適用フレームサイズ: M286N:8/6インチ、M265N:6インチ
  • 適用ウェハサイズ: M286N:8/6/5/4インチ、M265N:6/5/4/3インチ
  • 適用ウェハ厚さ: 200um(接触テーブル)、 250um(非接触テーブル)
  • 処理能力: 約30秒/ウェハ
  • ※上記仕様値は、ワーク/テープ/その他条件により影響を受けます。
    オプション機能を含んでいる場合もあります。
    また、上記仕様値外でも条件によっては適用できる可能性がありますので、詳細はお問い合わせください。

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受付時間:9:00~17:30(土・日・祝日・年末年始・夏季休暇・弊社休業日を除く)

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