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ウェハマウンター NEL SYSTEM® (フルオートタイプ)

タイシング用テープをウェハ裏面およびフレームに貼り付け、パターン面からの保護テープはく離機能も有する、フルオートタイプのマウンタです。

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カスタマーサポートセンター

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300mmウェハ対応フルオートマウンタ

オペレーションフロー

特長

  • FOUP/オープンカセット対応
  • 薄ウェハ対応
  • インラインシステム対応可能
  • 小スペース(業界最小クラス)
  • 充実した保護テープはく離機能
  • タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定/選択機能
  • 稼働管理標準装備
  • ウェハマッピングスキャナ搭載可能
  • SECS/GEM機能搭載可能
  • CEマーキング/SEMI S2/S8準拠

基本仕様

  • 適用フレームサイズ: 300mm/200mm
  • 適用ウェハサイズ: 300mm/200mm
  • 適用ウェハ厚さ: 30um以上(インライン)、50um以上(スタンドアローン)
  • 処理能力: ロールテープ:40枚/hr.  プリカットテープ:45枚/hr.
  • ※上記仕様値は、ワーク/テープ/その他条件により影響を受けます。
    オプション機能を含んでいる場合もあります。
    また、上記仕様値外でも条件によっては適用できる可能性がありますので、詳細はお問い合わせください。

MA2008IIR/MA2008IIPsemicon_backgrinding_img_icon_ce

200mmウェハ対応フルオートマウンタ

オペレーションフロー

特長

  • 多彩なオプションの組み合わせで多様なニーズに対応
    • DSC、コインスタック
    • 非接触アーム、非接触テーブル
    • 保護テープはく離機能/UV照射機能
    • 基板マウント
  • MA2008IIR: ロールテープ対応
  • MA2008IIP: プリカットテープ対応
  • タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定/選択機能
  • 稼働管理標準装備
  • ウェハマッピングスキャナ搭載可能
  • SECS/GEM機能搭載可能
  • CEマーキング/SEMI S2/S8準拠

基本仕様

  • 適用フレームサイズ: 8インチ/6インチ
  • 適用ウェハサイズ: 8/6/5/4インチ
  • 適用ウェハ厚さ: 200um以上(接触テーブル)、250um以上(非接触テーブル)
  • 処理能力: MA2008IIR:75枚/hr.  MA2008IIP:70枚/hr.
  • ※上記仕様値は、ワーク/テープ/その他条件により影響を受けます。
    オプション機能を含んでいる場合もあります。
    また、上記仕様値外でも条件によっては適用できる可能性がありますので、詳細はお問い合わせください。

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