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TAIKO®ウェハ用保護テープはく離装置 NEL SYSTEM®シリーズ

バックグラインド用の保護テープをTAIKO®ウェハのパターン面からはく離する、フルオートタイプの保護テープはく離機です。

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200mmTAIKOウェハ対応フルオート保護テープはく離機

オペレーションフロー

特長

  • TAIKOウェハ対応
  • ベルヌーイ方式による非接触搬送
  • コンタミレス搬送(ツインアームロボット使用)
  • はく離バー/キッカケ/エッジキーパーによる安定はく離  (キッカケ/エッジキーパーはオプション)
  • はく離テープ部分貼りによる低ストレスはく離
  • タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定/選択機能
  • CEマーキング/SEMI S2/S8準拠
  • SECS/GEM機能搭載可能

基本仕様

  • 適用ウェハサイズ: 8インチ/6インチ
  • 適用ウェハ厚さ: TAIKOウェハ:50um以上、ノーマルウェハ150um以上
  • 処理能力: TAIKOウェハ:30枚/hr.  ノーマルウェハ:50枚/hr.
  • ※上記仕様値は、ワーク/テープ/その他条件により影響を受けます。
    オプション機能を含んでいる場合もあります。
    また、上記仕様値外でも条件によっては適用できる可能性がありますので、詳細はお問い合わせください。

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