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真空+プレス機構付き保護テープ貼り付け装置 NEL SYSTEM®シリーズ

バックグラインド用の保護テープをウェハパターン面に真空下で貼り付け、平板プレス機構も併せ持つ300mmウェハに対応したフルオートタイプの保護テープ貼り付け機です。

従来のウエハ保護テープ貼付装置の技術に、真空・平板プレスの技術を導入し、大きな凹凸や段差・バンプがある半導体ウエハに対して、気泡なく、平滑・平坦にテープを貼り付けることができる真空+プレス機構付きテープ貼付装置です。
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300mmウェハ対応フルオート保護テープ貼り付け機(真空貼り付け&プレス機能付)

オペレーションフロー

特長

  • FOUP/オープンカセット対応
  • 差圧/平板プレスによる貼り付けにより、バンプウェハ等の凹凸を有するウェハへボイドなくテープ貼付が可能
  • タッチパネルによる簡易操作、運転条件レシピ設定/選択機能
  • 稼働管理標準装備
  • CEマーキング/SEMI S2/S8準拠
  • ウェハマッピングスキャナ搭載可能
  • SECS/GEM機能搭載可能

基本仕様

  • 適用フレームサイズ: 300mm
  • 適用ウェハサイズ: 300mm
  • 適用ウェハ厚さ: 775um
  • 処理能力: 45枚/hr.
  • ※上記仕様値は、ワーク/テープ/その他条件により影響を受けます。
    オプション機能を含んでいる場合もあります。
    また、上記仕様値外でも条件によっては適用できる可能性がありますので、詳細はお問い合わせください。

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