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Irradiatore UV per suddivisione in piastrine NEL SYSTEM® Series

Questa apparecchiatura irradia la luce UV sul nastro di spezzettatura sulla parte posteriore del wafer al fine di ridurre l'adesione. Sono previste macchine di tipo completamente automatico & e macchine di tipo semiautomatico; inoltre, sono disponibili anche per wafer di grandi dimensioni.

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Nitto Europe

Business Hours (WET) 8:00h-17:00h

Except for Sat, Sun, and Holidays

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Irradiatore UV completamente automatico per wafer da 300 mm

Sequenza operativa

Caratteristiche

  • Telaio da 8"/6" disponibile
  • Calcolo automatico del tempo di irradiazione UV
  • Espansione della zona di irradiazione (fino alla zona telaio)
  • Spurgo di N2
  • Timbro con simbolo di spunta dopo l'irradiazione UV
  • Facile funzionamento tramite pannello tattile e funzione "Recipe"
  • Apparecchiatura standard con funzione file di registro
  • Conforme al marchio CE / SEMI S2/S8"

Specifiche base

 
  • Dimensione telaio applicabile: 300 mm/200 mm
  • Dimensione wafer applicabile: 300 mm/200 mm
  • Volume di produzione: 60 wafer/h
  • *I valori sopra specificati varieranno in base al wafer/nastro/altre condizioni e, in alcuni casi, è inclusa la funzione opzionale.
    Qualora le condizioni siano appropriate, si potrebbero applicare dei wafer che non rientrano nelle specifiche sopra indicate. Vi preghiamo di contattarci.

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Irradiatore UV completamente automatico per wafer da 200 mm

Sequenza operativa

Caratteristiche

  • Telaio da 8"/6" disponibile
  • Calcolo automatico del tempo di irradiazione UV
  • Espansione della zona di irradiazione (fino alla zona telaio)
  • Spurgo di N2
  • Timbro con simbolo di spunta dopo l'irradiazione UV
  • Facile funzionamento tramite pannello tattile e funzione "Recipe"
  • Apparecchiatura standard con funzione file di registro
  • Conforme al marchio CE / SEMI S2/S8

Specifiche base

  • Dimensione telaio applicabile: 8 pollici/6 pollici
  • Dimensione wafer applicabile: 8/6/5/4 pollici
  • Volume di produzione: wafer TAIKO: 100 wafer/h
  • *I valori sopra specificati varieranno in base al wafer/nastro/altre condizioni e, in alcuni casi, è inclusa la funzione opzionale.
    Qualora le condizioni siano appropriate, si potrebbero applicare dei wafer che non rientrano nelle specifiche sopra indicate. Vi preghiamo di contattarci.

UM810/UM110

UM810: irradiatore UV semiautomatico per wafer da 8"
UM110: irradiatore UV semiautomatico per wafer da 6"

Sequenza operativa

Caratteristiche

  • Timer di irradiazione UV in dotazione (range di impostazione: 0-999 sec)
  • Funzione di spurgo N2
  • Illuminometro UV (opzione)
  • Espansione della zona di irradiazione (fino alla zona telaio) (opzione)

Specifiche base

  • Dimensione telaio applicabile: UM810: 8 pollici/6 pollici UM110: 6 pollici
  • Dimensione wafer applicabile: UM810: 8/6/5/4 pollici UM110: 6/5/4 pollici
  • *I valori sopra specificati varieranno in base al wafer/nastro/altre condizioni e, in alcuni casi, è inclusa la funzione opzionale.
    Qualora le condizioni siano appropriate, si potrebbero applicare dei wafer che non rientrano nelle specifiche sopra indicate. Vi preghiamo di contattarci.

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