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耐热性背面研磨胶带(研发中)

耐热性背面研磨胶带主要用于晶圆研磨后的特殊热加工工艺。

耐热性背面研磨胶带的作用相当于对晶圆背面进行二次加工。 背面研磨处理后,可对贴有耐热性背面研磨胶带的晶圆进行加工(湿法腐蚀、灰化、金属化、曝光/加工等)。
联系 (关于产品)

营业时间(北京时间)8:45-17:15

周六、周日和节假日除外

特征

  • 良好的 TTV(总厚度波动)性能。
  • 晶圆背面加工时具有较高的耐热性。
  • 进行各种晶圆背面加工后,耐热性背面研磨胶带易于从晶圆表面剥离。

结构

应用

  • 用于电源设备、分离元件等晶圆背面的湿法腐蚀或金属化加工。
  • 用于 IGBT 等复杂的晶圆背面加工。
  • 用于其他需要一定热量的半导体加工。

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营业时间(北京时间)8:45-17:15(周六、周日和节假日除外)

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